Тонкие пленки играют важную роль в разработке и изучении материалов с новыми и уникальными свойствами. Тонкие пленки очень полезны в современном мире, поскольку их преимущество заключается в изменении свойств поверхности объемного материала в соответствии с нашими требованиями. Тонкие пленки могут быть нанесены на сыпучие материалы с помощью двух типов процессов физического осаждения из паровой фазы и химического осаждения из паровой фазы. Метод физического осаждения из паровой фазы имеет преимущество в нетоксичности и лучшей адгезии тонких пленок к объемным материалам по сравнению с химическим осаждением из паровой фазы. Основной целью настоящей работы является синтез покрытия на основе нитрида тантала на стеклянных, кремниевых, латунных и стальных подложках с использованием процесса радиочастотного магнетронного распыления. Исследовано влияние времени осаждения и изменения расхода азота на структурные и трибологические свойства покрытия на основе нитрида таl