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portada Technologie Hochintegrierter Schaltungen (in German)
Type
Physical Book
Publisher
Author
Language
German
Pages
386
Format
Paperback
ISBN13
9783642648328
Edition No.
2

Technologie Hochintegrierter Schaltungen (in German)

Dietrich Widmann; Hermann Mader; Hans Friedrich (Author) · Springer · Paperback

Technologie Hochintegrierter Schaltungen (in German) - Dietrich Widmann; Hermann Mader; Hans Friedrich

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Synopsis "Technologie Hochintegrierter Schaltungen (in German)"

Dieses Buch beschreibt kompetent und umfassend die aktuellen Technologien zur Herstellung von hochintegrierten Schaltungen bis zur Proze integration für den 256-Mbit-Speicher. Es wendet sich damit an fortgeschrittene Studenten sowie Ingenieure und Naturwissenschaftler in Forschung, Entwicklung und Fertigung. Die gewaltigen Entwicklungen in der Proze technologie der letzten Jahre finden sich in dieser Neuauflage wieder: Planarisierungstechniken, neue Materialien wie Refraktärmetalle, modernste Proze architekturen für CMOS-, Bipolar-, BICMOS- und Smart-Power-Technologien. Hinzu kommen wesentlich verbesserte Einzelprozesse in Schichttechnik, Lithographie, Ätztechnik und Dotiertechnik mit selbstjustierenden Verfahren. Die Autoren, selbst aktiv an diesen Fortschritten beteiligt, geben Informationen aus erster Hand.

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